Herstellung von festen SU8 photoresist Filmen über R2R Beschichtung

Beschreibung

Herstellung von festen SU8 photoresist Filmen über R2R Beschichtung.

Projektleitung

Prof. Dr. Martin Winkler

Stellv. Projektleitung

Jan Inauen

Co-Projektleitung

Dr. Moshe Judelewitz

Projektstatus

abgeschlossen, 09/2020 - 05/2021

Institut/Zentrum

Institute of Materials and Process Engineering (IMPE)

Drittmittelgeber

Innosuisse