Predictive Process Tuning - PreTune
Beschreibung
Dieses von Innosuisse geförderte Projekt zielt darauf ab, eine innovative, prädiktive Prozesssteuerung zu implementieren, die durch eine KI-gestützte multiperspektivische Datenanalyse ermöglicht wird, die in den Prozess Digital Twin eingebettet ist. Das Ergebnis wird das aktuelle Niveau der Produktqualität deutlich verbessern und eine ökologischere Halbleiterproduktion ermöglichen.
Eckdaten
Projektleitung
Projektpartner
Hitachi Energy AG / Semiconductors
Projektstatus
abgeschlossen, 04/2021 - 11/2023
Institut/Zentrum
Institut für Mechatronische Systeme (IMS)
Drittmittelgeber
Innovationsprojekt / Projekt Nr. 51514.1 IP-ENG
